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Die IBS war Teilnehmerin am Opto-Mechatronik-Symposium
Im Fokus des diesjährigen Programms standen Systeme, die auf Elektronen- und Ionenstrahloptiken basieren. Diese komplexen optomechatronischen Systeme mit hohem Auflösungsvermögen finden in zahlreichen Anwendungen ihren Einsatz, beispielsweise in Elektronenmikroskopen, Elektronen- oder Ionenstrahllithografiesystemen sowie Werkzeugen für die Ionenstrahlbebilderung im Pikometerbereich.