Der mit der Folie tanzt - In-Line Interferometrie in der Rolle-zu-Rolle-Produktion
In der Produktion flexibler Elektronik revolutioniert die Inline-3D-Metrologie von Merkmalen im Nanometerbereich den Produktionsprozess und macht zeitaufwändige Offline-Messungen zur Prozesskontrolle überflüssig. (Englisch)