Semiflexible Handhabung und Verarbeitung von Substraten

Herstellung von Flachbildschirmen (FPD)

Die Herstellung von Flachbildschirmen (FPD) stellt strenge Anforderungen an die Handhabung, Verarbeitung und Prüfung von Glas, das als halbflexibles Substrat betrachtet werden kann. Eine präzise, berührungslose Handhabung des Glases ist sowohl für die optische Inspektion als auch für den LCD-Druck erforderlich.  Vakuum vorgespannte Luftlager steuern die vertikale Höhe des Glases innerhalb von < 5 µm für die Inspektion. In den Lagern verteilte Vakuumrillen verbessern die vertikale Steifigkeit während des Drucks. Dies ermöglicht auch einen Hochgeschwindigkeitstransport bei fester Höhe, wobei ein Abheben vermieden wird. Ähnliche Techniken werden auch bei der Verarbeitung von Photovoltaik-Solarzellen verwendet.

Produkte: 
> Precision Zone Conveyor Luftlager

Semiflexible Handhabung und Verarbeitung von Substraten

Kontaktloses Bahnhandling im Rolle-zu-Rolle-Verfahren

Gedruckte Elektronik

In der Elektronikindustrie ersetzt der Hochdurchsatzdruck auf großen Rollen oder Bahnen zunehmend die Stapelverarbeitung zur Herstellung von Substraten in größerem Maßstab. Air Turns bieten eine Alternative zu herkömmlichen Rollen, bei denen poröse Medien verwendet werden, um eine dünne und steife Luftpolsterung zu erzeugen, die die bewegten Substrate unterstützt. Die Luft wird durch Millionen von mikrometergroßen Löchern gepresst und ermöglicht eine Drehung des Bands um bis zu 180°, ohne jemals einen Roller zu berühren. Sie eliminieren die Reibung und den Verschleiß, die mit herkömmlichen Rollen für die Bahnhandhabung verbunden sind, und vermeiden jeglichen mechanischen Kontakt mit dem Substrat, was Defekte und Verunreinigungen im Produktionszyklus von Rolle zu Rolle erheblich reduziert. Außerdem werden Vibrationen und Aufladungseffekte ausgeschlossen.

Produkte: 
> Zylindrische Luftlager (Air Turns)

Kontaktloses Bahnhandling im Rolle-zu-Rolle-Verfahren

Bahnstabilisierung

Gedruckte Elektronik

In Produktionslinien für gedruckte Elektronik vibrieren die Bahnen in der Regel in vertikaler Richtung über 300 Mikrometer. Für die Inline-Inspektion oder -Verarbeitung sollten diese Bahnschwingungen auf unter 10 Mikrometer stabilisiert werden. Vakuum-Vorspannungs-Lufttische saugen die Bahn auf ein Luftkissen und reduzieren die Vibrationen sogar auf eine Stabilität im Mikrometerbereich. Die Inspektion von Folien kann im Nanometerbereich erfolgen, auch wenn die Foliengeschwindigkeit 10 m/min beträgt.

Produkte:
> Precision Zone Conveyor Luftlager

Bahnstabilisierung