Direct Laser Writing Systems

Fotolithografie

Die hochauflösende Laserdirektbeschriftung ist eine leistungsstarke Technologie zur Erzeugung von Strukturen in Mikrometer- bis Submikrometer-Auflösung in lichtempfindlichen Schichten. Die Laserstrahlsysteme (optische Lithografie), die die optische Strukturierung erzeugen, werden mit höchster Präzision durch reibungsfreie Luftschlitten geführt, um eine nanopräzise Steuerung des Laserstrahls im Produktionsprozess zu gewährleisten. 

Produkte: 
> Luftlagerschlitten
> Luftlagerbuchsen

Direct-laser-writing

3D-Metalldrucksysteme

Additive Fertigung

Die 3D-Metalldrucktechnik, eine der präzisesten Formen der additiven Fertigung, ist in der Lage, mikroskopisch kleine Details, große Maßgenauigkeit und variable Durchmesser zu erzeugen, was auf einen sehr genauen Produktionsprozess zurückzuführen ist. Bei diesem Verfahren wird das Objekt mit Hilfe von Metallpulver und hochpräzisem Bindemittelstrahl Schicht für Schicht aufgebaut. Reibungsfreie flache Luftlager und Luftbuchsen werden verwendet, um die hochpräzisen Düsen über jeder neuen Schicht aus Metallpulver genau zu bewegen und zu positionieren. Die Leistung der Luftlager wird nicht durch Pulverrückstände in der Umgebung beeinträchtigt. 

Produkte: 
> Flache Luftlager
> Luftlagerbuchsen 

3D-Metalldrucksysteme

SMT-Bestückungsautomaten

Mikroelektronik

Die neueste Generation von Bestückungsautomaten für die Oberflächenmontage setzt neue Rekorde in Bezug auf Geschwindigkeit, Flächenleistung und Genauigkeit für Anwendungen in der Massenproduktion. Intelligente Fabriklösungen in der Elektronikindustrie erfordern eine verbesserte Effizienz der Produktion. Hohe Geschwindigkeit und Beschleunigung sowie hochpräzise Positionierung der Bestückungsköpfe werden zunehmend durch den Einsatz von reibungslosen, wartungsfreien Luftbuchsen erreicht. 

Produkte: 
> Luftlagerbuchsen

SMT-Bestückungsautomaten

Großflächige Metrologiemaschinen

Druckindustrie

Der Druck erfordert seit vielen Dekaden Präzision, da das menschliche Auge sehr empfindlich auf die genaue Registrierung von Farben reagiert. Heutzutage müssen jedoch große zylindrische Druckmaschinenteile eine Genauigkeit im Submikrometerbereich (<10-⁶ m) über ~5 Meter erreichen. Die Qualifizierung dieser Teile erfordert fortschrittliche Koordinatenmessgeräte. Die Luftlagertechnologie ermöglicht reibungsfreie Linear- und Rotationsbewegungen, um die Genauigkeit und Wiederholbarkeit bei der Prüfung in diesen Maschinen im Mikrometerbereich zu unterstützen.

Produkte:
> Flache Luftlager

Großflächige Metrologiemaschinen